大足蔡司大足扫描电子显微镜ZEISS EVO 10完整技术参数说明书

　　1. 设备概述

　　ZEISS EVO 10 是卡尔蔡司推出的通用型钨灯丝 / LaB₆ 可变真空大足扫描电镜，适配材料形貌观测、金相分析、粉体颗粒、失效分析、教学科研、工业来料质检等场景，支持高真空、可变真空模式，可拓展能谱、背散射等分析附件，结构紧凑、操作简易、维护成本低，是实验室入门及常规工业检测主力机型。

　　2. 电子光学系统

　　电子枪类型

　　标配：钨灯丝热发射电子枪

　　可选升级：六硼化镧 LaB₆ 电子枪

　　加速电压

　　调节范围：0.2 kV ～ 30 kV 连续可调

　　二次电子分辨率(标准工作距离)

　　30 kV：钨灯丝 ≤3.0 nm;LaB₆ ≤2.0 nm

　　3 kV：钨灯丝 ≤8.0 nm;LaB₆ ≤6.0 nm

　　1 kV：钨灯丝 ≤20.0 nm;LaB₆ ≤9.0 nm

　　放大倍率

　　范围：7× ～ 1,000,000×

　　倍率连续可调，自动标定无畸变

　　探针电流

　　可调范围：0.5 pA ～ 5 μA

　　物镜工作距离

　　标准分析工作距离 AWD：8.5 mm

　　支持短工作距离高分辨、长工作距离大样品观测

　　3. 真空系统

　　工作模式

　　标配：高真空 HV + 可变真空 VP

　　可选：扩展真空 EP 模式

　　真空指标

　　高真空模式：优于 \(5\times10^{-6}\ \text{mbar}\)

　　可变真空范围：

　　钨灯丝：10 Pa ～ 400 Pa

　　LaB₆：10 Pa ～ 273 Pa

　　真空机组配置

　　机械前级泵 + 涡轮分子泵 + 电子枪离子泵

　　全自动真空控制，漏气保护、延时待机节能模式

　　换气与样品交换

　　全自动气锁样品交换室，抽真空速度快，减少枪体污染

　　4. 样品室与五轴电动样品台

　　样品室腔体

　　内径：φ310 mm × 高度 220 mm

　　更大承载样品

　　更大样品直径：230 mm

　　更大样品高度：130 mm

　　五轴全自动样品台

　　X 行程：80 mm

　　Y 行程：100 mm

　　Z 行程：35 mm

　　倾斜 T：-10° ～ 90°

　　旋转 R：360° 连续无限旋转

　　电动可编程定位，可保存多点位置自动观测

　　5. 探测器及可选配置

　　标配

　　SE 二次电子探测器：表面微观形貌成像

　　可选购拓展

　　BSE 背散射电子探测器：原子序数衬度、成分分布观察

　　VPSE 可变真空二次电子探测器：绝缘样品、含水样品、生物样品免喷金观测

　　EDS 能谱仪：微区元素定性、定量、线扫描、面分布

　　EBSD 电子背散射衍射：晶粒取向、织构、晶界分析

　　STEM 透射探测器：纳米薄膜、透射微观结构

　　6. 控制软件与图像系统

　　操作软件：SmartSEM 专业控制软件

　　核心功能

　　自动对焦、自动消像散、自动亮度 / 对比度

　　实时高清成像、多格式图片保存

　　距离、粒径、角度、面积测量及标注

　　图像序列采集、批量参数保存、用户权限管理

　　支持数据导出、报告模板生成

　　7. 机械尺寸、重量与电气参数

　　整机外形尺寸(宽 × 深 × 高)

　　约 822 mm × 980 mm × 1783 mm

　　整机重量

　　约 650 kg

　　供电要求

　　输入电压：208～230 V

　　频率：50/60 Hz

　　额定电流：25 A

　　8. 安装环境要求

　　环境温度：20℃ ～ 30℃

　　相对湿度：<65% 无凝露

　　场地要求：防震、无强电磁干扰、无粉尘腐蚀性气体

　　地面承重、水平度满足设备安装规范

　　9. 设备应用领域

　　高校科研、理化实验室、教学实训

　　金属材料、金相组织、断裂失效分析

　　粉体、陶瓷、高分子、复合材料形貌观测

　　电子元器件、PCB、镀层涂层检测

　　地质矿产、化工原料、建材微观分析